ø 移動(dòng)范圍: x 軸驅(qū)動(dòng)部: 100mm,電動(dòng)立柱(垂直方向): 250mmø z 軸測(cè)量范圍:1000μm(粗糙度時(shí))、50mm(輪廓度時(shí))ø 直 線(xiàn) 度:粗糙度時(shí)(0.05+1.0l/1000)μm ,l:測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)輪廓度時(shí)1μm/100μmø 測(cè)量精度(輪廓): z 軸(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2h│/100)μm z 軸分辨率 0.1μm/50mm,x 軸(橫方指示精度±(1+2l/100)μm ,l=測(cè)量長(zhǎng)度(mm),粗糙度精度:x 軸分辨率0.1μmø 粗糙度解
更新時(shí)間:2025-12-02