sps 2600-hp，sps 2800-hp和sps 12000-hp系列系統(tǒng)是microxact的半自動探針臺，設計靈活，易于使用，可用于高效設備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設計用于支持最多200mm晶圓的手動和半自動探測。

隨著半導體變得越來越小和越來越復雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用microxact的半自動探針臺進行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進行進一步的和廣泛的故障分析。

sps-1000，sps-2000和sps-2200系統(tǒng)是microxact首要的手動探針臺，設計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能，dc或rf探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應用，例如故障分析，可靠性測試，iv / cv測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。