齊全PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器/光纖光譜儀/紅外觀察儀/濾光片/博盛

 
     
 

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| 探測(cè)器 

PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

  • 1.0nm(半最大值全波)光學(xué)解析度
  • 200~1100nm波長(zhǎng)范圍
  • 快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法
  • 調(diào)制步驟編輯
    調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而的步驟設(shè)置:例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。
     
    用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具
    PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫(kù),可以另外單獨(dú)購(gòu)買(mǎi),它能夠提供種類(lèi)的鑒定;而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口,可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。
     
    產(chǎn)品規(guī)格

     

    光譜范圍
    2001100nm
    光學(xué)解析度
    1.0nm(半最大值全波)
    數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器
    14 bit
    數(shù)字輸入/輸出
    8 x TTL
    模擬輸出
    4 x [0-10V]
    連接方式
    USB 1.1
    USB 1.1
    電力消耗
    12V直流電,1.25A
    電力需求
    90240V交流電,50/60Hz
    尺寸
    257 mm x 152 mm x 263 mm
    重量
    5 kg

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